納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試,測試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計算得出,無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。
納米壓痕儀能通過實時記錄力和對應(yīng)位移深度的曲線來測量納米或微米級薄膜材料力學(xué)性能。儀器不僅提供納米壓痕功能,同時也提供納米劃痕功能和臺階儀功能,即不僅可以滿足薄膜硬度、彈性模量等性能的測量,還可實現(xiàn)薄膜與基體之間的結(jié)合力和定量表面形貌的測量。
納米壓痕儀具有哪些優(yōu)勢特點?
(1)試樣制備簡單。納米壓痕儀測試一般對試樣表面粗糙度有特殊要求,對被測試樣的形狀尺寸并無特殊要求,壓入深度在微納米尺度,是一種無損測試方法。
(2)測量分辨力高。
(3)操作方便。利用載荷-深度曲線,可直接換算得到接觸面積,無需對殘余壓痕面積進(jìn)行測定。
(4)測試內(nèi)容豐富。利用納米壓痕儀測試不僅可以獲得硬度、彈性模量,還可以獲得塑性參數(shù)、斷裂參數(shù)、黏彈參數(shù)等。
(5)應(yīng)用范圍廣。可廣泛應(yīng)用于金屬、陶瓷、薄膜材料、復(fù)合材料、生物材料、特殊功能材料、微機(jī)電系統(tǒng)中微構(gòu)件等眾多材料和結(jié)構(gòu)的力學(xué)測試。